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热场发射扫描电子显微镜JSM-7001F
[发布时间:2015/10/28 作者:办公室]
主要特点
1.稳定的高分辨图像的观察
  • 1.2nm (30kV), 3.0nm (1kV)
  • 3.0nm (5nA, 15kV, WD10mm) (能谱仪等的分析条件时,分辨率高。别的品牌在分析条件时,分辨率差,约10nm7001F可以达到该性能,因为7001F的电子光学系统比别的品牌多一套最佳光阑角控制透镜)
2.全自动电子光学系统
  •  浸没式热场发射电子枪(日本电子专利),最大电流200nA。重要:照射电流可以实现很大,最大可达200nA,可以实现附件(电制冷能谱仪、波谱仪等)饱和测试,对微量元素的测试感度很高,而且测试时间短,效率高。别的品牌一般照射电流小,如10nA(蔡司品牌)。)

  • 最佳光阑角控制透镜,20nA束流范围内需手动切换光阑,20nA以上进行EBSD和WDS分析时可以切换另一个光阑

3.大束流适于多功能分析
  •      最大束流为200nA,非常适于EDS, EBSD, WDS, CL分析。(照射电流大,接口多,功能扩展强)
 
4.热场发射电子枪寿命非常长,可以达5年以上(3年内异常包换)。重要:电子枪寿命比其他品牌的长,3年内异常包换,平均寿命达5年以上,别的品牌一般12年寿命)
 
5.五轴马达驱动样品台标准配置。
 
6.柔和电子束模式(加速电压减压模式)有效降低充电效应,对观察非导体样品效果更好。(配置有加速电压减压模式模式,对观察非导体样品效果更好。)
 
7.无漏磁物镜极靴,特别适合磁性样品观察和EBSD分析。重要:物镜为Out Lens设计,不在物镜下形成磁场,物镜的磁场在物镜内部,特别适合磁性样品观察或研究磁性环境下样品的特征。其他品牌的物镜为Semi inlens设计,物镜下有磁场,不利于磁性样品观察,也不适合研究磁性环境下样品的特征。)
 
8. 气锁样品更换室为标准配置。(重要: 1)减少样品对样品室污染,因为样品室受污染后,对别的样品也容易造成污染;2)减少对电子枪真空系统(特别是光阑部件)污染,电子枪受污染后,低加速电压时的分辨率衰减快,而低电压时的高分辨率恰好是场发射扫描电子显微镜的重要特性。别的品牌有的不能配,有的为选项,选项时费用较高)。